Как правильно выбрать FFU для чистых помещений классов ISO 5, 6, 7, 8?

Понимание классификации чистых помещений по ISO 14644-1

ISO 14644-1 является международно признанным стандартом классификации чистоты воздуха в чистых помещениях. Он делит чистые помещения на классы от ISO 1 до ISO 9 в зависимости от концентрации частиц в воздухе.

Класс чистоты определяется максимально допустимой концентрацией частиц конкретных размеров. Например, чистое помещение класса 5 по ISO требует, чтобы концентрация частиц размером более или равная 0,5 мкм не превышала 3520 частиц на кубический метр.

На практике чистые помещения должны быть проверены в одном из трех состояний занятости:

Состояние-постройки: объект завершен, нет оборудования и персонала.

В-режиме покоя: оборудование установлено и работает, персонала нет.

Эксплуатация: оборудование работает, персонал работает-это наиболее реалистичное состояние проверки.

Пределы концентрации частиц класса 5-8 по ISO

Ниже приведены основные спецификации для чистых помещений классов ISO от 5 до 8. Эти данные составляют основу дляФФУвыбор:

Класс ISO	Максимальная концентрация больше или равна 0,5 мкм (частиц/м³)	Максимальная концентрация больше или равна 5,0 мкм (частиц/м³)	Типичные применения
ИСО 5	3,520	29	Производство полупроводников, стерильное заполнение
ИСО 6	35,200	293	Медицинские приборы, прецизионное покрытие
ИСО 7	352,000	2,930	Пищевая упаковка, лаборатории
ИСО 8	3,520,000	29,300	Сборка электроники, общее производство

Примечание. Данные в этой таблице представляют собой совокупные концентрации. Для класса 5 по ISO 3520 частиц/м³ с размером больше или равным 0,5 мкм включают все частицы размером более 0,5 мкм.

Параметры выбора ФФУ по классам ISO

На основе новейшей практики ISO 14644-1:2025 параметры выбора ФФУ для различных классов чистых помещений следующие:

 

Класс ISO	Покрытие ФФУ	Средний воздушный поток (м/с)	Воздухообмен в час (ACH)	Рекомендуемый класс фильтра
ИСО 5	60-80%	0.35-0.55	300-600	H14 / U15
ИСО 6	40-60%	0.30-0.45	150-300	H13 / H14
ИСО 7	25-40%	0.30-0.45	60-150	H12 / H13
ИСО 8	15-25%	0.30-0.45	20-60	H11 / H12

Ключевые пояснения:

Охват FFU: доля потолочной площади, занимаемой FFU. Чем выше степень покрытия, тем выше класс чистоты.

Воздухообмен в час (ACH): сколько раз общий объем воздуха в чистом помещении заменяется в час. Класс ISO 5 требует 300–600 ACH.

Рекомендуемый класс фильтра: На основе стандартов EN 1822.Фильтры H13достичь эффективности выше или равной 99,95% при 0,3 мкм,H14Больше или равно 99,995%.

Как рассчитать количество FFU?

Расчет количества FFU является важным шагом при выборе. Вот стандартная формула:

Количество FFU=(площадь чистого помещения × целевая зона покрытия) / эффективная зона покрытия на FFU

Практические примеры :

Сценарий	Расчет	Результат
ISO 5 Фабрика полупроводников	Площадь покрытия 100㎡ × 70%=70㎡ ÷ 0,65㎡ на FFU	≈108 единиц → +15% резервирования →123 единицы
Завод по производству литиевых батарей ISO 7	Площадь покрытия 200㎡ × 30%=60㎡ ÷ 0,65㎡ на FFU	≈92 единицы → +10% резервирования →101 единица

Зачем добавлять избыточность?

Добавьте 5-10% FFU в зонах с интенсивным движением персонала.

Добавьте дополнительные FFU рядом с источниками тепла оборудования, чтобы компенсировать нарушения воздушного потока.

Зарезервируйте 20 % свободных мощностей для будущих обновлений.

Какой класс фильтра выбрать?

Основой FFU является высокоэффективный-фильтр. В соответствии со стандартами EN 1822 разные марки фильтров имеют разные характеристики эффективности:

Оценка фильтра	Эффективность (MPPS)	Типичные применения
H13 НЕРА	99.95% @ 0.3μm	Чистые помещения класса 6–7 по ISO, фармацевтика, больницы
H14 НЕРА	99.995% @ 0.3μm	Чистые помещения класса 5 по ISO, стерильное заполнение
U15 УЛПА	99.9995% @ 0.12μm	Производство полупроводниковых пластин, нанотехнологии
U16 УЛПА	99.99995% @ 0.12μm	Производство чипов 5/3 нм

Советы по выбору:

Избегайте чрезмерного-инжиниринга: Использование фильтров H14 в чистых помещениях класса 8 по ISO повышает устойчивость на 25 % и увеличивает затраты на электроэнергию.

Следуйте стандартам: выберите класс фильтра, соответствующий требуемому классу чистого помещения.

Выбор подходящего FFU требует всестороннего рассмотрения четырех основных элементов: класса чистого помещения, покрытия FFU, эффективности фильтра и проверочных испытаний. Следуя стандартам ISO 14644-1 и принимая решения на основе фактических требований процесса, а не слепо стремясь к более высоким сортам, вы можете достичь оптимальной чистоты при одновременной оптимизации затрат.

Если вы планируете новый проект чистого помещения или вам необходимо обновить существующую систему, добро пожаловать насвязаться с намиза профессиональную консультацию по выбору. Мы предлагаем FFU нестандартного размера и услуги OEM для удовлетворения особых требований различных проектов!